名詞
スパッタリング(乾式成膜)を指す台湾の専門表記。真空中でイオンを標的に衝突させ、飛び出した原子を基板上に堆積させる薄膜形成法の略記。
📝 台湾で用いられる繁体字表記であり、原表記「幹射」をそのまま見出し語として扱う。簡体字圏では「溅射」「干法镀膜」などと表記される。
這台設備採用幹射方式製作金屬薄膜。
(zhè tái shè bèi cǎi yòng gàn shè fāng shì zhì zuò jīn shǔ báo mó.)
この装置はスパッタリング方式で金属薄膜を作製する。
幹射製程的真空度必須嚴格控制。
(gàn shè zhì chéng de zhēn kōng dù bì xū yán gé kòng zhì.)
スパッタリング工程の真空度は厳密に制御しなければならない。
工程師比較了幹射與蒸鍍兩種鍍膜方法。
(gōng chéng shī bǐ jiào le gàn shè yǔ zhēng dù liǎng zhǒng dù mó fāng fǎ.)
技術者はスパッタリングと蒸着の二つの成膜法を比較した。
⚖️ 類義語との比較
「蒸镀」が加熱蒸発による成膜であるのに対し、「幹射」はイオン衝撃で標的原子を叩き出して成膜する。
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生成日:
2026/07/19 22:23
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