名詞
イオン衝撃。加速したイオンを固体表面に衝突させること。表面洗浄・エッチング・スパッタに利用される。
📝 真空・表面工学の用語。動詞的にも用いられる。
镀膜前先用离子轰击清洁基板表面。
(dù mó qián xiān yòng lí zǐ hōng jī qīng jié jī bǎn biǎo miàn.)
成膜前にイオン衝撃で基板表面を洗浄する。
长时间离子轰击会损伤材料结构。
(cháng shí jiān lí zǐ hōng jī huì sǔn shāng cái liào jié gòu.)
長時間のイオン衝撃は材料の構造を損傷する。
离子轰击的能量决定了刻蚀速率。
(lí zǐ hōng jī de néng liàng jué dìng le kè shí sù lǜ.)
イオン衝撃のエネルギーがエッチング速度を決める。
⚖️ 類義語との比較
「刻蚀」が材料を除去する工程全体を指すのに対し、「离子轰击」はその手段となる物理的な衝突作用を指す。
生成: claude-opus-4-8 ／
生成日:
2026/07/19 22:23
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