名詞
スピンコーター。基板を高速回転させてレジストなどを均一に塗布する装置。
📝 半導体・微細加工分野の装置名。「旋涂机」とも呼ばれる。
实验室的匀胶机转速可调到每分钟六千转。
(Shíyànshì de yúnjiāojī zhuànsù kě tiáo dào měi fēnzhōng liùqiān zhuàn.)
実験室のスピンコーターは毎分六千回転まで調整できる。
光刻胶要用匀胶机涂布均匀。
(Guāngkèjiāo yào yòng yúnjiāojī túbù jūnyún.)
フォトレジストはスピンコーターで均一に塗布する必要がある。
他正在清洗匀胶机的托盘。
(Tā zhèngzài qīngxǐ yúnjiāojī de tuōpán.)
彼はスピンコーターのチャックを洗浄しているところだ。
⚖️ 類義語との比較
「涂布机」が広く塗工装置一般を指すのに対し、「匀胶机」は回転塗布による膜厚均一化を目的とする。
登録日:
2026/07/19 22:23
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