専門用語
反応ガス。化学反応や成膜プロセスで反応に関与させる気体。
📝 半導体製造や化学工程で、目的の反応を進めるために導入する気体。
工艺中通入反应气以促成沉积。
(gōngyì zhōng tōngrù fǎnyìng qì yǐ cùchéng chénjī.)
工程では成膜を促すため反応ガスを導入する。
反应气的流量必须精确控制。
(fǎnyìng qì de liúliàng bìxū jīngquè kòngzhì.)
反応ガスの流量は精密に制御しなければならない。
腔体内充满了高纯度的反应气。
(qiāngtǐ nèi chōngmǎn le gāo chúndù de fǎnyìng qì.)
チャンバー内は高純度の反応ガスで満たされている。
⚖️ 類義語との比較
反应气は反応に関与する気体で、単に運ぶだけの载气(キャリアガス)と対比される。
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生成日:
2026/07/12 19:42
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